在擴(kuò)散過程中，硅片的周邊也形成了擴(kuò)散層。這種擴(kuò)散層可能使電池的上、下電極形成局部短路，從而使太陽能電池板的并聯(lián)電阻下降，影響太陽能電池板的轉(zhuǎn)換效率，所以必須消除周邊的擴(kuò)散層。

　　去邊的方法早有腐蝕法和擠壓法。腐蝕法是將硅片的兩面涂上黑膠在硝酸和復(fù)氨酸組成的溶液中腐蝕30s左右取出，再將黑膠清除。擠壓法是用大小與硅片相同，略帶彈性的耐酸橡膠或塑料與硅片相間整齊地隔開,并且施加一定的壓力，以阻止腐蝕液滲入縫隙，放入腐蝕液中不到lmin，取出洗凈，即可將硅片周邊的擴(kuò)散層去除。

　　目前的工業(yè)化生產(chǎn)多用等離子干法腐蝕，在輝光放電情況下通過氟和氧交替對硅片作用，可去除含有擴(kuò)散層的周邊。其主要工作原理是:氣體中總存在微量的自由電子,在外電場的作用下,這些電子便加速運動，當(dāng)電子在外電場中獲得足夠的能量后與氣體分子發(fā)生碰撞，使得氣體分子電離而發(fā)射出二次電子;二次電子又進(jìn)一步與氣體分子發(fā)生碰撞電離，產(chǎn)生更多的電子與離子;由于存在電子與離子相復(fù)合的逆過程，電離與復(fù)合過程終必將達(dá)到一種平衡狀態(tài),出現(xiàn)穩(wěn)定的輝光放電現(xiàn)象，形成穩(wěn)定的等離子體。在放電過程中,除了形成電子與離子外，還可產(chǎn)生激發(fā)態(tài)的分子原子及各種原子團(tuán)，稱為游離基。具有高度化學(xué)活性的游離基與被蝕材料的表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成揮發(fā)性的物質(zhì)，使材料不斷被腐蝕。

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