太陽能板廠家-深圳市迪晟能源技術有限公司，關于源擴散制作工業(yè)生產過程如下:

　　①將擴散爐預先升溫至擴散溫度(800～950℃)，通入大流量的氮氣(500～30000m/min)，驅除管道內的氣體。如果是新處理的石英管，還要接著通含有POCI,的氮氣(500 ～5000mL min)和氧氣(500 ～5000mL/min)，使石英管壁吸收至飽和狀態(tài)。

　　②取出經(jīng)過表面準備的硅片，裝入石英舟，推入恒溫區(qū)，在大流量的氮氣(500～5000mL/min)保護下預熱若干分鐘。

　　③通入含有POCI3,的氮氣，氮氣流量為500～3000ml/ min,氧氣流量為 500 ～300ml/ min,通源時間為15 ～60min。

　　④失源(即停止通含有POCl3,的氮氣和氧氣)，然后通大流量氮氣若干分鐘，以驅走殘存在管道內的源蒸氣。

　　⑤把石英舟拉至擴散爐口.降溫若干分鐘后，即可取出擴散好的硅片。

　　(3)固態(tài)氮化硼源擴散

　　固態(tài)氮化硼源擴散通常采用片狀氮化硼作源，在氮氣保護下進行擴散。片狀氮化硼的制作方法有兩種:可用高純氮化硼棒切割成和硅片一樣大小的薄片，也可用粉狀氨化硼沖壓成片。擴散前,氮化硼片預先在擴散溫度下通氧氣30min,使氮化硼表面的三氧化二硼與硅發(fā)生反應，形成硼硅玻璃沉積在硅表面，硼向硅內部擴散。擴散爐內的氮氣流量較低時，可使擴散更為均勻。

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