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熱交換法是目前國內外生產多晶硅錠的主流方法,美國GT Solur英國Cnyual Sytem德國ALD和KR Solar等公司都采用此法。其工藝特點主要是:坩堝和加熱器在熔化及凝固全過程中均無相對位移。在坩堝工作臺底部要設置一個熱開關,熔化時熱開關關閉,起隔熱作用;凝固開始時熱開關打開,增強坩堝底部散熱程度,建立熱場。熱開關有法蘭盤式平板式、百葉窗式等。熱交換法的長晶速度受坩堝底部散熱強度控制,如用水冷,則受冷卻水流量(及進出水溫差)控制。由于定向凝固只能是單方向熱流(散熱),徑向(即坩堝側向)不能散熱,即徑向溫度梯度趨于零,而坩堝和加熱器又固定不動,因此隨著凝固的進行,熱場的等溫度線(高于熔點溫度)會逐步向上推移,同時又必須保證無徑向熱流,所以溫場的控制與調節(jié)難度較大。
液一固面逐步向上推移時,液固界面處溫度梯度必須大于零 ,但隨著界面逐步向上推移,溫度梯度逐步降低直至趨于零。從以上分析可知,熱交換法的長品速度及溫度梯度是變化的。要直勝統高度受限制,要擴大容量只能靠增加硅錠的俄面積。此方法的另個優(yōu)點是除熱開減界不需要可移動的部件,所以護體的結構相對比較簡單,熱交換法結晶爐加熱器有豎放和橫放兩類。
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