深圳市迪晟能源技術有限公司
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專注新能源領域11年,迪晟能源通過創(chuàng)新技術、優(yōu)化管理不斷提高產(chǎn)品性能及服務品質(zhì),為客戶的投資盈利提供保障。無論在國內(nèi)還是海外市場,迪晟能源始終主張通過高效優(yōu)質(zhì)的逆變器產(chǎn)品給創(chuàng)造經(jīng)濟效益和環(huán)境效益,助力綠色生產(chǎn)、生活方式在全球范圍的早日實現(xiàn)。
研究了激光摻雜選擇性發(fā)射極匹配的擴散工藝,通過調(diào)整不同的工藝參數(shù),達到相同的高方阻,比較了不同方法獲得的高方阻的均勻性,得到了在105Ω/□左右的高方阻仍能保持較好均勻性的擴散工藝。通過調(diào)整激光功率形成不同的重摻雜區(qū)方塊電阻,研究了不同的重摻雜區(qū)方塊電阻對電池主要電性能參數(shù)的影響,分析了變化原因。后比較了激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽電池和傳統(tǒng)太陽電池的電性能及外量子效率。工藝優(yōu)化后,激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽電池的轉(zhuǎn)換效率相比傳統(tǒng)太陽電池有0.24%的提升。
提高太陽能電池板的光電轉(zhuǎn)換效率是提高行業(yè)競爭力的重要途徑。發(fā)射極摻雜濃度對太陽電池轉(zhuǎn)換效率的影響是雙重的,采用高濃度的摻雜,可以減小硅片和電極之間的接觸電阻,降低電池的串聯(lián)電阻,但是高的摻雜濃度會導致載流子復合變大,少子壽命降低,影響電池的開路電壓和短路電流。采用低濃度的摻雜,可以降低表面復合,提高少子壽命,但是必然會導致接觸電阻的增大,影響電池的串聯(lián)。選擇性發(fā)射極太陽電池的結構設計可以很好地解決這一矛盾。選擇性發(fā)射極(selectiveemitter,SE)太陽電池,即在金屬柵線與硅片接觸部位及其附近進行高濃度摻雜,而在電極以外的區(qū)域進行低濃度摻雜。這樣既降低了硅片和電極之間的接觸電阻,又降低了表面的復合,提高了少子壽命。這種結構的電池具有以下3點明顯的優(yōu)點:
(1)降低串聯(lián)電阻,提高填充因子;
(2)減少載流子復合,提高表面鈍化效果;
(3)增強電池短波光譜響應,提高短路電流和開路電壓。
目前選擇性發(fā)射極的主要實現(xiàn)工藝有氧化物掩膜法、絲網(wǎng)印刷硅墨水法、離子注入法和激光摻雜法等,其中激光PSG摻雜法由于其工藝過程簡單,從太陽電池常規(guī)產(chǎn)線升級成激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽電池生產(chǎn)線,工藝上只需增加激光摻雜一個步驟,從設備上來說,只需增加摻雜用激光設備,與常規(guī)產(chǎn)線的工藝及設備兼容性很高,是行業(yè)研究的熱點。激光PSG摻雜法是采用擴散時產(chǎn)生的磷硅玻璃層作為摻雜源進行激光掃描,形成重摻雜區(qū)。目前雖然對激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽電池的理論研究和實驗的報道很多,但是在實際的大規(guī)模生產(chǎn)中,仍然存在著擴散高方阻的均勻性、輕重摻雜區(qū)方塊電阻匹配和印刷正電極的精確對位等問題。
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